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  当时方位:主页专利查询昭和电工株式会社专利正文

  本发明专利技术供给一种难以发生含有酸成分的排水、能量的使用功率更好的氟化钙的制作办法。所述氟化钙的制作办法，其特征是，具有：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水加热，而且使用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分化气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有设备进口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分化气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分化气体中所含的酸成分与钙盐反响生成氟化钙。

  【专利摘要】本专利技术供给一种难以发生含有酸成分的排水、能量的使用功率更好的氟化钙的制作办法。所述氟化钙的制作办法，其特征是，具有：加热工序（K2），该工序对含有过氟化物的气体以及水加热，而且使用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分化气体；热交换工序（K3），该工序在流入加热工序（K2）之前的含有设备进口排气以及水与从加热工序（K2）流出后的分化气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序（K4），该工序使从热交换工序（K3）流出后的分化气体中所含的酸成分与钙盐反响生成氟化钙。【专利阐明】氟化钙的制作办法和氟化钙的制作设备

  例如，在半导体器材、液晶器材的制作工艺中，为了构成微细图画，有时进行蚀刻、 清洗（cleaning)。此刻，使用过氟化物的状况较多。别的，过氟化物一般较安稳，大多对人 体无害，所以除此之外还被用于例如空调的制冷剂等。 可是，在这些过氟化物中，当被释放到大气中时，对地球环境可以形成较大影响的过氟 化物较多。即，因为在大气中长期间安稳地存在，具有地球温室化

  一种氟化钙的制作办法，其特征是，具有：加热工序，该工序对含有过氟化物的气体以及水加热，而且使用催化剂水解过氟化物来生成含有酸性气体的分化气体；热交换工序，该工序在流入所述加热工序之前的含有过氟化物的气体以及水与从该加热工序流出后的分化气体之间进行热交换；以及氟化钙生成工序，该工序使从所述热交换工序流出后的分化气体中所含的酸成分与钙盐反响生成氟化钙。